产 品 名 称：

日本X-射线金属镀层测厚仪

产 品 型 号：

EX-3000

产品所属类别：

X-射线镀层测厚仪

说　　明:

壹.      荧光X线控制部:

1.      X线源:油浸式小型微小焦点X线管. 50KV管电压，可变管电压。

2.      照射方式：由上而下垂直照射方式。

3.      检出器：比例计数管。

4.      滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器，可单一或同时使用。

5.      准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。

               0.1,  0.2,  0.5,  1.0,  2.0 ψ㎜.

        (选购) 0.05 ×0.5,  0.05,  0.1,  0.2,  0.5 ψ㎜.

        (选购) 0.05,  0.1,  0.2,  0.3,  0.5 ψ㎜.

6.      样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。

7.      多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，非常快速。

贰.      计算机操作部:

8.计算机系统：(※仅供参考)

w       中文个人计算机. 

w       CPU：Intel Celeron 2.66G HZ

w       RAM：256 MB.

w       40倍速 CD-ROM ×1.

w       Hard Disk：40 GB.

w       15" 高画质显示屏.

9.打印机：EPSON打印机。

10.  本机型(EX-3000系列)之操作系统采中文窗口(Windows XP)对话式操作，非常简便。

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参.          特性说明:

11.  测量项目：

w       单层膜厚测定.   

w       2层膜厚测定. 

w       3层膜厚测定.   

w       合金膜厚成份比同时测定. 

w       化学镍膜厚测定. 

w       压铸锌底材上镀铜、镍二层膜厚同时测定.

w       元素的光谱峰值测定分析.

12.  测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。    原子序22以下为吸收法测量。

13.  测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um.         原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um.   原子序41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um.   原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um.

14.  测量机能：

w       自动测定.

w       同一点重复测定机能

w       输出形式设定.

w       自动测定条件测定.

w       能谱测定.

w       2点间等距离测定.

15.  测量条件或膜厚规格可以保存.

当要测量相同图样轨迹的制品时，若测量条件已储存时，可以马上进行测量。

最大检量线档案数：可登录储存100组档案。

最大测量档案数  ：可登录储存500组档案(总计含手动300组,

                  自动100组,任意点自动测量100组等)。

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16.  档案记录：

w       每一个批号可储存无限个测量数据.(因各型计算机之容量大小而定)

w       每一个测量档案可输入及储存公司名称.

w       每个批号可单独执行统计处理.

w       每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线).

w       每个测量档案可输入自动测量的坐标记录及统计处理方式.

17.   数据处理：

w        统计值表示：平均值、标准偏差、最大值、最小值、上下限值范围、Cp、Cpk。

w             X-R 管制图.

w             柱状图：有自动设定及自己任意设定二种方式。

w             测量资料轮廓剖面分布图。

w             测量资料三次元轮廓剖面分布图。

w             可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。

18.   底材补正：当样品与标准片的底材不同时，可作底材补正。

19.  观物显示屏：十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。

肆.使用电压.

20.   使用电压: AC100V ±10V ； (选购) AC110V， AC220V.

伍.安全装置.

21.   本机俱有自动安全断电系统功能.

22.   由锁匙开关来控制X 线输出，以防止外人任意操作.

陆.其它机能.

23.   测量台坐标表示.

24.   装置维护调整.

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柒. 坐标记录..

   26. 标准坐标:

       (1). 基本路径: 于一个频道内可记忆300点，可连结共4个

                      频道，并可记录下一次的定位补正、旋转坐标、

                      旋转补正及频道连结等的使用及多样化操作。

       (2). 登录方式: a. 二点之间的等分。

                      b. 任意点输入。

                      c. 起始点输入，间距 ×间距数。

27. 定位补正记忆:

       在X, Y轴之测定起始点，可做平行之位移记录。

28. 旋转坐标登录:

   记忆在频道内之同一路径产品，在测定物不规则的排列下

   ，可依据所排列的回转角度之回转路径成为基本的路径输

   入及同一测定起始点和终点输入后，可连续地测量和记录。

29. 旋转坐标补正:

   记忆在频道内之同一路径产品，在测定物任意放置时，各

   测定点的相对位置不变的话，可依据所所输入测定起始点

   和终点的坐标，各个位置会自行修正。

30. 坐标频道连结:

   有数种位移组合及反复的状况下，若已记忆在频道内，可

   依据测量的顺序及批号记录来作连结。

31. 测量方式:  

    (1). 任意点测定。

    (2). 自动定位测定。

32. 三次元立体显示图:

   (1). 线状立体显示图。

   (2). 面状立体显示图。

   (3). 柱状立体显示图。

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捌. 设备尺寸：

25.   测定部：  外观尺寸：602(W) ×463(D) ×732(H) ㎜.

重    量：标准型  约 55 Kg.        

重    量：自动型  约 61 Kg.

26.   操作部：(※仅供参考) 

w             计算机尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.  

                      重量：约 8.8 Kg.

w             显示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.

                          重量：约16.5 Kg.

w             打印机尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.

重量：约 4.3 Kg.

27.   测量样品限制.

             样品限制高度：  150㎜

        样品限制重量：  1 Kg.

玖. X-Y-Z轴可移动式测量台.

28.   测量台尺寸及移动量.

测量台尺寸         240 ×220 mm， 

移动量(X-Y-Z轴)   200 ×200 ×50 ㎜.